霍浦维真空磁控溅射玻璃镀膜系统

技术参数 Technical Parameter:

镀膜线主要完成玻璃真空镀膜的自动化生产，该控制系统主要完成对生产流水线的自动化控制。生产线电气控制系统采用SCADA结构，控制器采用Rockwell/Allen-Bradley的Logix5000的平台，一套倍福运动控制系统和SEW伺服驱动器及电机，完成玻璃的运动控制。溅射段舱位各设置一套独立的Logix5370控制系统，分子泵采用Devicenet总线和Logix5370通信，分子泵位内Logix5370和服务器采用光纤以太网通信；阴极均采用上供气，MFC和阴极电源采用Devicenet总线和Logix5370通信, 阴极位内Logix5370和服务器采用光纤以太网通信。真空系统设置三套Logix5380分别控制进口段、溅射段、出口段的真空泵、蝶阀、门阀、放气阀等，Logix5380和服务器采用光纤以太网通信。倍福软PLC系统主要完成整条线玻璃传输的自动控制，实现玻璃传输的精确控制。
整个控制系统按功能可分为上位计算机SCADA系统、MES系统、传动系统控制、分子泵位控制、阴极磁控溅射控制、真空抽气系统控制、与冷却水循环系统、冷阱及前清洗机、装卸片台的控制联络、系统的安全联锁控制、配电系统等。其中冷却水循环系统、装片区（含前清洗机）控制系统，卸片区控制系统、冷阱等为独立的控制系统，完成其相应区域的控制功能，本控制系统与上述独立控制系统实现通讯联络，实施监控，同步联动。
玻璃传动系统：通过控制线体传动伺服电机使玻璃按要求平滑传输。
·真空获得系统：通过控制各种抽真空泵和气阀获得要求的线体真空。
·磁控溅射系统：通过控制阴极电源，阴极和工作气体实现磁控溅射工艺。
·安全联锁系统：对重要设备和大功率设备如伺服电机、真空泵等进行联锁保护控制。
·视觉检测系统：通过工业相机检测玻璃的外观尺寸，排除不良品。
·冷却水系统:阴极、真空泵和电源的冷却。
·压缩空气系统：气动元件的压缩空气提供。
·装/卸片系统：玻璃的上下片辅助。
·冷阱系统：捕集来自真空室内的可凝性蒸气以及来自真空泵的返流蒸气，提高真空度，保护真空泵。
· SCADA系统：组态整个产线系统，操作员可以利用人机界面监控整条玻璃镀膜线。
· MES系统：利用系统反馈的现场数据，高效配置生产资源，合理指导生产。 霍浦维真空磁控溅射玻璃镀膜系统网络拓扑
·2个互为备热的服务器，服务器采集现场PLC和控制器的数据，为各子系统提供数据服务。
·多个操作员站，操作员站上配有SCADA系统和MES系统。
·工程师站配有现场设备的调试软件，方便工程师对系统的调试维护。
·企业可以按需配置装有MES系统的企业管理站，可以方便地查看现场数据和生产报表，合理安排生产。
·现场PLC和控制器通过以太网接入服务器，其中溅射系统的PLC通过光纤接入服务器，有效避免现场中高频电源干扰。
·玻璃传动系统的倍福控制器与伺服驱动器采用实时EtherCat总线通信。
·玻璃传动系统与真空系统在生产中需要实时交互数据，2个系统的4个控制器采用以太网EtherNet/IP协议通信。
·现场设备层使用DeviceNet网络通信。 ·预留通信接口，适配多种主流通信协议，外围辅助系统无缝接入。
·采用DCS及SCADA技术，将控制风险分散，数据交换量合理分散，控制功能更加模块化和合理化，并具有几乎无限的扩展性。
·多种控制方式选择，在各种情况下灵活控制生产线。
·合理的系统设计，镀膜系统分成各个子系统，各子系统可以独立控制，即使发生故障，也可以最大限度地减少损失，快速排查维修。
·配置MES系统，即生产过程执行系统，高效配置生产资源，合理指导生产。
·配置安全联锁功能，安全联系分为硬件联锁和软件联锁，系统检测到异常将会启动保护程序，保护机组设备。
·现场总线通讯采用光纤通信，避免现场大量的中高频电源电磁干扰，提高了系统的可靠性。
·系统设计采用了各种抗噪声技术、包括光电隔离、高共模抑制比、合理地接地和屏蔽。
·电气桥架施工布局合理，电缆布线整齐，整洁，电柜标识、电缆标签齐全。安装现场美观。

霍浦维真空磁控溅射玻璃镀膜系统硬件配置
整个硬件控制系统由服务器/网络柜、操作员站、分子泵控制柜、阴极控制柜、倍福软PLC控制柜、MCC柜、进口区泵控制柜、溅射区泵控制柜、出口区泵控制柜、工业以太网、现场总线网络等组成。 其中各PLC控制器站完成本镀膜生产线的各种模拟量控制、程序控制和数据采集功能，以满足各种运行工况的性能、确保系统工程安全、高效运行。Logix5000平台的设计将采用卡件级的自诊断功能, 使其具有高度的可靠性。SCADA架构，各系统完全独立，控制风险大大降低，各系统直接和服务器进行数据交换，界面数据刷新率可以保证在500毫秒内。长距离通讯和有中频干扰的场所需采用光纤和现场总线方式以减少信号的干扰，提高电气性能的可靠性。系统配置5台工业控制计算机作为操作员和工程师站，配置5个54寸液晶显示器。采用服务器/客户端结构，各个控制系统通过以太网只和服务器通信，客户端（操作员站）和服务器通信，服务器做冗余热备。 系统带有移动手持式无线监测系统，操作人员、维修人员可以在设备旁进行监控。 系统带有WEB发布，可以通过万维网监测现场运行情况及生产汇总报表，支持手机/移动通信设备。 UPS采用美国APC公司不间断电源系统，电气控制元件采用施耐德/ABB低压电器元件，伺服传动控制装置采用SEW系列产品，玻璃检测暂定采用透明玻璃反射传感器KQ6002（IFM品牌），接线端子采用菲尼克斯/万可品牌，工业接插件采用德国浩亭品牌，电缆采用国内国家免检产品，其余辅助元件选用合资或国内知名厂家品牌以确保控制系统的可靠性。所有外部设备均需通过单独端子接入系统，所有DO输出应通过继电器隔离，DI/DO富裕点需将继电器、接线端子做好。 控制柜采用Rittal机柜系统，分子泵位/阴极位内均采用AE系列机柜，采用水冷方式。服务器柜、真空抽气柜，传动控制柜采用威图TS8机柜，采用专用的机柜空调。母排系统采用Rittal SV/维纳尔母排系统。

霍浦维真空磁控溅射玻璃镀膜系统技术参数

标准玻璃	2800mm X 4880mm
大面板玻璃	2800mm X 7000mm
玻璃厚度：	3-19mm
单银节拍：	22秒
双银节拍；	30秒
三银节拍:	60秒
传动精度：	0.05mm
每锅长度:	4940mm
锅距:	30-50mm
最大溅射速度:	224.5mm/s
数据刷新率:	小于500ms