磁控溅射工艺系统

技术参数 Technical Parameter:

整个生产线按实际需求配置多个溅射阴极单元，生产时，每个真空溅射阴极单元内要加入工作气体。供气通道依据靶材类型通过电磁阀选择Ar、O2、N2等三种气体中的一种或两种，并用气体质量流量计控制所选择气体的流量，辅助供气通道通过电磁阀选择Ar、O2、N2气等三种气体中的一种。气体流量控制器采用Bronkhost最新集成式控制结构，用Devicnet通讯方式实现流量等控制参数的设定和显示。
各阴极电源采用Devicenet现场总线接口控制方式，控制阴极电源所有的操作、参数设定和数据交换。控制系统对用户所选定的阴极和阴极电源，进行控制室远程控制，根据产品设定生产工艺控制参数（如：阴极电压、电流、功率、运行状态、故障情况等），接收反馈信号，进行安全连锁和过程控制，并监控运行状态，记录和打印参数、曲线。 系统对每个阴极单元自动识别，在操作员站计算机上自动显示当前阴极电源的输出所接的阴极单元和工作靶材，进而对阴极单元进行相应自动控制，同时并进行安全联锁，当阴极电源的输出线没有接入阴极单元或者冷却条件不具备时，系统禁止该阴极电源工作。