真空获得系统

技术参数 Technical Parameter:

真空系统分别在入口段、溅射段和出口段分别配置一套PLC控制各段的真空泵组和气阀。真空系统系统分真空和大气两种工作模式。在真空状态工作模式下，分自动、手动两种操作方式。对于真空泵组的保护，系统对各个真空泵和门阀等在硬件和软件层面都配置了安全互锁，现场操作人员即使操作失误也不会造成真空泵组故障。
控制模式：
·维修后自动抽气进入生产准备状态功能。
·停产自动保压功能。 ·整体放气和局部放气功能。
·正常模式和超长模式生产自动切换。
·正常抽气进入生产准备状态功能。
·真空泵组与真空室抽放气关联控制。